上海积塔电子半导体制程排气废气治理系统工程

上海积塔半导体有限公司成立于2017年,是华大半导体旗下全资子公司。华大半导体则是中国电子信息产业旗下子公司,为中国10大集成电路设计公司之一。

积塔

天辰平台作为积塔半导体的废气系统天辰注册供应商,在2019年新项目中,为积塔提供工艺排气系统的废气处理天辰注册,主要包括SX系统:6套*90000CMH酸性废气处理系统、EPISEX系统:2套*20000CMH酸性废气处理系统、AEX系统:3套*60000CMH碱性废气处理系统、VEX系统:2套*100000CMH有机废气处理系统。

废气治理系统

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