燕东微电子半导体制程排气废气治理系统工程

北京燕东微电子有限公司是一家专业化的集成电路设计、制造、销售于一体的IDM高科技企业,国内Y秀的模拟集成电路及分立器件制造商。

燕东微电子

2018年,新建一条8英寸集成电路生产线,SEX系统风量75000CMH,6套;AEX系统风量75000CMH,2套。2019年,又对生产线进行扩充,增加2套SEX系统,风量20000CM、3套VEX系统,风量20000CMH。酸碱(SEX/AEX)排气系统废气成分复杂,处理要求高,排放标准远高于国家排放要求。为此,我司为客户定制专属的天辰注册,包括工艺设计、空间管理、设备生产及施工、运营维护等全生命周期服务,实现超低排放。

废气治理系统

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