中芯绍兴半导体制程排气废气治理系统工程

中芯集成电路制造(绍兴)有限公司(中芯绍兴,SMEC)成立于2018年3月,总部位于浙江绍兴,主要工艺平台是从中芯国际集成电路制造有限公司(SMIC)授权转移而来的MEMS,IGBT和MOSFET。是一家专注在为客户提供特色工艺集成电路芯片及模块封装的代工生产制造服务的供应商。中芯绍兴自成立以来,聚焦在人工智能、移动通信、车载、工控等L域,通过构建持续研发和产业化能力,努力实现在微机电系统和高端功率器件制造工艺方面,达到国际流的水平的目标。

绍兴中芯

2020年初,中标FAB厂房40K排气系统的扩充项目,包括SEX系统:2套*65000CMH、EPISEX系统:1套*12000CMH、AEX系统:2套*14000CMH、GEX系统:1套*65000CMH、VEX系统:2套25000CMH系统及exhaust系统的自控及上位机系统,预计于2020年中下旬完成此扩充项目的建设。

废气处理系统

天辰平台作为中芯集成电路制造(绍兴)有限公司的废气系统天辰注册供应商,在2019年,完成FAB厂房13k排气系统的建设,包括SEX系统:3套*65000CMH、EPI。SEX系统:2套*12000CMH、AEX系统:2套*10000CMH、GEX系统:3套*65000CMH、VEX系统:2套*20000CMH,砷排放系统:2套*1000CMH及exhaust系统的自控及上位机系统,保证系统稳定运行。

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