中芯北方半导体废气治理工程

中芯北方集成电路制造(北京)有限公司成立于2013年7约,是中芯国际与北京市政府共同投资设立的12英寸先jin制程集成电路制造厂。

中芯北方

天辰平台作为中芯北方的大厂商,长期为客户提供全生命周期工艺排气系统一站式天辰注册。提供了中芯北方P2-10K/15K/18K酸碱废气系统、事故排风系统、一般排风系统天辰注册及项目建设,并参与P2B工艺排气系统项目建设。

废气处理系统

酸碱废气系统主要工艺路线:

收集管路➡集管➡酸性/碱性化学洗涤塔➡耐腐蚀风机➡烟囱(达标排放)

 

事故排风系统主要工艺路线:

收集管路➡集管➡酸性/碱性化学洗涤塔/有机废气处理系统➡风机➡烟囱(达标排放)

 

一般排风系统天辰注册:

收集管路➡集管➡风机➡烟囱

示意图

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