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新材料行业半导体废气处理方法及工艺

环保领域专家
  • 天辰平台环保
  • 擅长:废气处理工艺技术,专注环保领域13年

随着新材料行业的发展,全国各地新材料行业的规模也日益扩大,新材料的发展对社会起了积极的作用,然而其对生态环境的破坏也是存在的,影响z大的是有机化合物或毒性物质。

新材料行业半导体废气处理方法及工艺

新材料行业与传统材料相比,新材料产业具有技术高度密集,研究与开发投入高,产品的附加值高,生产与市场的国际性强,以及应用范围广,发展前景好等特点,其研发水平及产业化规模已成为衡量一个国家经济,社会发展,科技进步和国防实力的重要标志,世界各国特别是发达国家都十分重视新材料产业的发展。   作为新材料产业的代表之一,半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

半导体企业酸性或碱性废气:酸碱中和处理法。

酸碱废气治理工艺流程为: 风管废气收集→酸性/碱性废气洗涤塔化学洗涤→耐腐蚀风机引风→烟囱排气达标排放 

有机废气治理工艺:直接燃烧法

有机废气治理工艺流程为:  有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉(TO)→烟囱排气达标排放


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