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半导体行业废气排放标准是什么?国家半导体厂环保废气处理排放执行标准要求

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。

国家半导体行业大气污染物排放标准

目前国家没有专门关于半导体行业的国家标准,一切依据《中华人民共和国环境保护法》(2015-01-01)《环境空气质量标准》(GB3095-2012)《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)等相关文件。

地方半导体行业大气污染物排放标准:

江苏省:《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)

 

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