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scrubber指的是什么设备?

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吸附式尾气处理设备(Local Scrubber)几乎能处理所以小流量的废气,是半导体厂常用的尾气处理设备,吸附是利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,使其中所含的一种或多种组分吸附于固体表面上,达到分离的目的。吸附剂选择性高,能分开其他过程难以分开的混合物,有效地清除(或回收)浓度很低的有害物质,净化效率高,设备简单,操作方便,且能实现自动控制。

LOCAL SCRUBBER尾气处理设备

等离子水洗Local Scrubber设备:去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中使用或产生的PFC温室气体和有毒有害气体,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

LOCAL SCRUBBER尾气处理设备

通过直流电源,使工作气体(氮气)进入等离子体反应器,在正负极强电流的作用下,被电离成等离子体,瞬间产生巨大的火焰,产生的高温火焰将废气分解。

本装置的直流电弧等离子体为非转移型,两电极区域不参与反应,只产生等离子体,产生的火焰温度可达3000度以上。  等离子反应器的MTBF大于1年,反应室内腔的材质耐热和耐腐,具有四个进气口,装置具备冷却区、喷淋区及两级填料除雾区,对PFC温室气体的去除效率>90%。

SCRUBBER

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